装置購入前に各種デモ装置でお試しいただけます
半導体ウエハや金属、セラミックス、電子部品など、様々なサンプルに対応できるよう、本社敷地内に、50台以上の試焼き設備をご用意しております。ご購入前の性能評価だけでなく、発注後の追加評価にもご利用いただけますので、納入された設備の立ち上げ期間を大幅に短縮することができます。
ご遠方のお客様はサンプル（ワーク）をお送りいただいた上でのウェブによる立ち合いやお打ち合わせも可能です。
デモ・試焼きのお問い合わせ・
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試焼きの流れ
デモセンターのご紹介
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研究開発棟
デモ機を集約設置しており、複数装置の同時処理も可能です。
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電子部品エリア (連続炉)
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電子部品エリア (オーブン)
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ボックス炉・チューブ炉エリア
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半導体エリア（Class10）
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金属・工業加熱分野エリア（誘導加熱）
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金属・工業加熱分野エリア（別棟）
デモ装置のご紹介
デモ装置保有台数50台以上
下記装置の他にも各種デモ装置を取り揃えています。
詳細はお問い合わせください。
- 金属製品向け
- ベアリング、シャフト、リングなど金属部品の浸炭・焼入を中心に、多目的なデモ処理が可能です。浸炭焼入では、バッチ処理可能な「ガス浸炭炉」、1個流しで大型製品も処理できる「超高速浸炭炉」、無酸化処理で優れた製品光輝性を確保できる「真空浸炭炉」などお客様の要望に応じて様々な試焼きが可能です。
- 半導体向け
- 小口径ウエハから300㎜ウエハまでの処理が可能です。酸化、拡散、LP-CVD、アニール、キュアなど一般的なプロセスの他、SiCやGaNウエハ向けに高温処理プロセスも可能です。
特にSiCパワー半導体は最大8”まで対応可能で、1900℃活性化処理、1400℃酸窒化処理、1200℃コンタクトアニール処理など様々な試焼き装置を取り揃えています。
- 電子部品・セラミックス向け
- 用途に応じてさまざまな温度、雰囲気で処理できるメッシュベルト式連続炉、セラミックチェーン式連続炉をはじめ、脱脂に最適な低酸素濃度雰囲気に対応したイナートガスオーブン、クリーンな環境で処理できるクリーンオーブンなどでの各種処理が可能です。
また、過熱水蒸気雰囲気で処理可能なAllFit®シリーズの追加により、さらに幅広い処理条件をお試しいただけるようになりました。
- その他
- 各種温度や雰囲気に対応したボックス炉（箱型炉）やチューブ炉（管状炉）、その他特殊装置を取り揃えています。N2やH2雰囲気はもちろん、真空や過熱水蒸気雰囲気での処理も可能です。