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卓上型ランプアニール DTL-6
卓上式のコンパクトなR＆D用ランプアニール装置で、太陽電池の電極焼成やイオン注入後の活性化アニールなどに最適です。
Point
製品のポイント
- □156㎜、Φ150㎜ウェーハで最大100℃/秒の高速昇温可能。
- ～1000℃までの処理が可能。
- 石英チューブの装着により雰囲気制御（不活性ガス）が可能。
- 加熱炉と制御盤の別体化でレイアウトが自由。
製品の特長
卓上式のコンパクトなR＆D用ランプアニール装置で、太陽電池の電極焼成やイオン注入後の活性化アニールなどに最適です。ハロゲンランプを使用しているため高速昇温が可能。石英プロセスチャンバを装着すれば、不活性ガス雰囲気での処理も可能です。
製品仕様
| 装置型式 | DTL-6 |
| 本体寸法（mm） | 682(W)×555(D)×340(H) |
| ウェーハサイズ（mm） | ～□156、～Φ150 |
| 対応プロセス | 電極焼成（太陽電池）、各種アニール 他 |
| 常用温度 | 300～1000℃ |
| 処理枚数 | 枚葉 |
| ウェーハ搬送 | 手動 |
| 昇温レート | 最大100℃/sec（Siウエハ処理時） |
| 使用ガス | N2、Ar、O2 他 |
| オプション | ガス系（N2など） |
| 石英プロセスチャンバ | |
| サセプタ（SiC他） |
