液晶や有機ELをはじめとしたディスプレイ向けクリーン加熱装置や、高機能フィルム・二次電池用電極等のシート材向け加熱装置をご紹介。
パーティクルの抑制、生産性に優れるフラットパネルディスプレイ（FPD）用クリーン加熱装置。ハイレベルなクリーン性能、昇華物対策や廃熱回収などの技術は、業界から高い評価を頂いております。また、高機能フィルムや二次電池電極材料等のシート材の加熱、燃料電池や水素タンクの乾燥などの用途にも、個別対応にて、お客様のご要望にお応えしております。
ディスプレイ・フィルム
ディスプレイ用のガラス基板、高機能フィルムや二次電池用のシート材向け加熱装置を紹介します。
