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太陽電池

豊富な出荷実績を誇る太陽電池向け熱処理装置をご紹介。

現在主流の結晶系太陽電池向けに生産性を追求した「横型拡散炉」をラインアップ。安定稼働で量産に貢献します。
化合物系CIS(CIGS)太陽電池向けには、Se化炉をご提案。安全性を重視した装置で、研究開発から量産まで豊富な出荷実績を誇ります。

結晶系

全世界で最も普及している単結晶・多結晶太陽電池。その結晶系太陽電池のリン・ボロン拡散向けの量産型横型炉や、スクリーン印刷後の電極焼成用の連続焼成炉を紹介します。

CIGS

銅(Cu)、インジウム(In)、セレン(Se)の3つを主原料とする化合物半導体のCIS太陽電池。そのCIS太陽電池用Se化炉を紹介します。大型基板にも対応し、安全性にも配慮した量産用装置です。