【概要】
真空雰囲気下でも処理可能な標準チューブ炉の応用品展開

【対応プロセス】
真空パージや真空熱処理プロセス

【導入機種】
KTFシリーズ全般

【課題】
真空パージ（置換）後に可燃性ガス（水素他）を安全に導入したり、真空雰囲気中でテストしたい

【解決手段】
標準チューブ炉に真空系ラインの設置を応用品としてオプション設定した

【得られた効果】
期待価格で処理品を真空パージや真空加熱処理することが可能となった

【関連製品】
KTFシリーズ全般

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