【概要】
　　半導体製造用の横型拡散炉には、ボートエレベータやソフトローダといった機械可動部が
　　あります。作業者が誤ってその可動域に侵入し、動作中の機器と接触するリスクを回避
　　するため、既設炉にて実施した改造工事例を紹介します。　　

【対象機種】
　　・装置：横型拡散炉
　　　　　　エレベータ、ソフトローダ実装装置

【課題】
　　本例で改造対象となった炉には、作業者と機械可動部の接触を検知するセンサが装備
　　されていました。しかし接触式センサは、接触があって初めて機械可動部が停止する
　　という仕組みのため、作業者と機械可動部が接触する可能性は残っていました。

【工事内容】
　　ボートエレベータ・ソフトローダ可動範囲内における人の存在を検知できるよう、
　　レーザースキャン型エリアセンサを設置しました。
　　・上部2ヵ所（侵入検知用）
　　・下部1ヵ所（居残り検知用）

【効果】
　　・レーザースキャン型エリアセンサの採用により、危険領域への作業者の侵入を隈なく
　　　検知することが可能となりました。
　　・作業者が誤って危険領域に入ったり居残っている場合、エレベータ・ソフトローダを
　　　安全に停止させ、物理的な接触を回避できるようになりました。

　近年、過去に導入した古い設備の安全性につて、見直しや強化を希望される事例が増えて
　おります。弊社ではそのようなご要望に対し、様々なソリューションをご提案させて頂き
　ますので、担当営業、またはこちらまでご相談下さい。