【カスタマーサービス】縦型炉のインチアップで生産性を向上

【インチアップ改造事例のご紹介】
パワーデバイス生産用としてウェハサイズ6インチで設備導入された縦型炉を
8インチ対応に改造することで、生産性の向上を実現しました。

【対象機種】
　・型式　：VF-5100B
　・処理用途：ポリイミドキュア

【改造内容】
　・8インチ用部品への変更
　　（石英ボート、ベルヌーイチャック、カセット関連部品他）
　・改造工事、引き渡し検査

【実績工期】
　・部品調達：約5ヵ月
　・改造工事～引き渡し検査：4日

【インチアップ効果】
　[生産性向上]
　　・インチアップ（6"⇒8"）により、ウェハ処理面積で約1.8倍の生産性向上

　[費用対効果に優れた生産性の向上を実現]
　　・改造費用は、新規設備導入費用のおよそ1/10
　　・工場レイアウト変更や新たなフットプリントの確保が不要
　　・6インチ生産の消費電力に対し、僅かプラス2%の電力で生産が可能

　[ウェハ生産面積に対する省エネ化とCO₂排出量の低減]
　　・ウェハ単位面積当たりの消費電力削減率：△43%（インチアップ改造前後で比較）※
　　・CO₂排出量低減：△約1.7ton/年（350℃の基準レシピ、6run/dayの生産条件において）※

　　※上記数値は一例であり、保証するのものではありませんのでご了承ください

　[生産計画変更にもフレキシブルに対応可能]
　　インチアップ改造は、恒久的な装置改造ではありませんので、元のウェハサイズでの
　　生産が必要になった場合は、インチダウン改造が容易に行え、フレキシブルな生産計画に
　　対応が可能です。（※改造仕様により、お客様自らで段取り替え工事も可能）

その他のインチアップ改造（例：4"⇒6"）やサービス全般に関するご質問及びサポートのご依頼は、
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