電子部品・セラミックス製造装置
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デモ対応製品
メッシュベルト炉 マルチ給排気型
雰囲気分離技術により、加熱室内のきめ細やかな雰囲気調整が可能な連続炉です。処理内容・ご要望に応じて設計致します。
Point
製品のポイント
- 加熱室内の高精度な雰囲気分離を実現。
- 多元雰囲気処理が可能。
製品の特長
加熱室内の雰囲気分離が可能なメッシュベルト式連続炉。マッフルに複数の給排気管を設け、処理内容に応じて、狙った部分のガス組成を細やかに調整可能です（例：低温部 高酸素濃度、中温部 中酸素濃度、焼成部 低酸素濃度）。LTCC基板やMLCC、インダクター製造時の熱処理、粉末冶金焼結に最適です。また、銅（Cu）ペーストの焼成用途においても良好な熱処理結果が得られています。
［関連情報］：MLCC向け熱処理装置
製品仕様
| 最高温度 | 1150℃ |
| 搬送方式 | メッシュベルト搬送 |
| 加熱室 | 耐熱鋼マッフル |
| 対応ベルト幅（mm） | 150～800 |
| 対応雰囲気 | N2、N2(WET)、N2+Air、Air |
| 用途 | LTCC（低温同時焼成セラミックス）基板（卑金属導体）の焼成 MLCCの脱脂や外部電極の焼成、粉末冶金焼結 厚膜焼成（卑金属導体など）、電極乾燥 |
