電子部品・セラミックス製造装置
半導体
真空ベーク炉
真空雰囲気下での加熱処理が可能な電気炉です。
Point
製品のポイント
- マッフル外周のエアジャケットへのエアー導入で、降温時間を短縮。
- 素早い真空到達と降温でタクトタイムを短縮。
- 温度制御は高精度な3ゾーン個別制御。
- ステンレスマッフルを装備。
製品の特長
真空雰囲気下での加熱処理を目的とし、耐熱圧力容器内にシーズヒータを 3ゾーン構成で配置した内熱式タイプです。マッフル外周のエアジャケットに冷却ブロアでフレッシュエアーを導入することで、降温時間の短縮が可能。主な用途は、ポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脱脂、ウェーハの乾燥/ベークなどになります。
製品仕様
| 型式 | SHB-8810-5VC |
|---|---|
| 最高温度（注1） | 500℃ |
| 常用温度（注1） | 250～480℃ |
| 温度制御 | プログラマ |
| 記憶容量 | 最大19パターン (19セグメント/1パターン) |
| 調節動作 | オートチューニング付PID制御 |
| ヒータ出力 | 6.0kW |
| 熱電対 | K |
| 外形寸法（炉体）（mm） | 1000(W)×1570(H)×1300(D) |
| マッフル内有効寸法（mm） | 200(W)×200(H)×250(D) |
| ブレーカー容量 | AC200V 40A 3相 50/60Hz |
| 安全装置 |
過熱防止計、電動機過負荷保護器、 冷却水断水検知器、ガス圧力低下検知器 |
| (注1) マッフル内制御点での値を示す。 | |
