Products

ディスプレイ

液晶や有機EL等をはじめとしたディスプレイ向けクリーン加熱装置をご紹介。

パーティクルの抑制、生産性に優れるフラットパネルディスプレイ(FPD)用クリーン加熱装置です。ハイレベルなクリーン性能、昇華物対策や廃熱回収などの技術は、業界から高い評価を頂いております。

液晶

カラーフィルターレジストのポストベイク、シール本硬化/仮硬化、アニール、配向膜の焼成など、フラットパネルディスプレイ(FPD)の熱処理に使用できる装置です。第10世代などの大型基板にも対応可能です。

LED

半導体熱処理向け装置・技術をLED向けに展開。

OLED

液晶ディスプレイ(LCD)向け熱処理装置で培った豊富な経験・ノウハウを基に、有機EL(OLED)向けの熱処理装置をご提案します。

フレキシブル

液晶ディスプレイ(LCD)向け熱処理装置で培った豊富な経験とノウハウをフレキシブルディスプレイ向けに応用。