液晶（LCD）、有機EL（OLED）用ガラス基板のクリーン加熱装置。クリーン性能や生産性に優れるモデルです。

遠赤外線（IR）加熱を採用した枚葉式クリーンオーブンです。加熱効率に優れています。

最高500℃での熱処理が可能なバッチ式クリーンオーブン。バッチ式でありながら、生産性に優れたモデルです。

搬送機構に樹脂ベルトを採用した連続炉です。基材にテンションを与えない処理が可能。各種保護シートやフィルムの加熱処理に最適です。

耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、クリーン環境と高温処理を両立したオーブンシリーズです。

耐熱性HEPAフィルタにより、クリーン環境での熱処理が可能なオーブンシリーズです。