【概要】
　　ウェーハピッチ可変ロボットの採用により、生産性を落とすことなく6インチ用SMIFポッド
　　に対応可能となりました。

【課題】
　　クリーンな環境でのウェーハの装置間搬送が可能なSMIFポッドは、8インチ用が標準です。
　　6インチ対応品も存在しますが、その溝ピッチは6.35mmであるため（通常、6インチ用
　　オープンカセットは4.76mmピッチ）、プロセスチャンバ内の石英ボートの溝ピッチも
　　6.35mmに広げる必要がありました。その結果、1バッチ当たりのウェーハ処理数が減少
　　することとなっていました。

【対策】
　　ウェーハピッチ可変機能を持つ搬送ロボットを採用し、6.35mmピッチの
　　SMIFポッドと4.76mmピッチの石英ボートとの間の搬送を可能としました。

【効果】
　　・1バッチ当たりの処理枚数を減らさずに、6インチウェーハの処理が可能
　　　となりました。（処理枚数：150枚／バッチ）
　　　また、このピッチ可変ロボットは、今後増産が見込まれるSiCウェーハの
　　　処理にも適用可能です。

【対象機種】
　　　縦型システム VF-5300
　　　・対応ウェーハサイズ：6インチ～8インチ
　　　・処理枚数：150枚／バッチ

　
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