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量産用ストッカ式縦型システム VF-5300

酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応したΦ150~200㎜量産装置。20個のカセットを収納出来、連続バッチ処理が可能です。

Point

  • 連続バッチ処理が可能なストッカ式量産装置。
  • 最大20カセットを収納可能。
  • Φ150~200㎜ウェーハで最大175枚/バッチ処理可能。
  • LGOヒータを搭載、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮。
  • ウェーハはツインアーム(5枚+1枚)搬送で高速搬送が可能。
  • IGBT用薄ウェーハ(リブ付き含む)にも対応。

製品の特長

酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応したΦ150~200㎜量産装置。最大20個の連続バッチ処理が可能です。変形の大きい薄ウェーハの搬送にも対応しています。

[関連技術情報] 縦型炉 ピッチ可変ロボットによる6インチ用SMIFポッドへの対応

製品仕様

装置型式

VF-5300

本体寸法(mm) 900(W)×2300(D)×3300(H)
ウェーハサイズ(mm) Φ150~200
最大処理枚数 150
キャリアストック数(FOUP) 20
使用温度 140~1150℃
ウェーハ搬送 5枚一括+枚葉
AMHS AGV or OHT
オプション SMIF対応
ホスト通信
強制冷却システム
N2ロードロック
ボート回転機構
薄ウェーハ対応
対応プロセス 酸化・拡散・LPCVD・アニール 他