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量産用ストッカ式縦型システム VF-5300
酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応したΦ150~200㎜量産装置。20個のカセットを収納出来、連続バッチ処理が可能です。
Point
製品のポイント
- 連続バッチ処理が可能なストッカ式量産装置。
- 最大20カセットを収納可能。
- Φ150~200㎜ウェーハで最大175枚/バッチ処理可能。
- LGOヒータを搭載、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮。
- ウェーハはツインアーム(5枚+1枚)搬送で高速搬送が可能。
- IGBT用薄ウェーハ(リブ付き含む)にも対応。
製品の特長
酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応したΦ150~200㎜量産装置。最大20個の連続バッチ処理が可能です。変形の大きい薄ウェーハの搬送にも対応しています。
[関連技術情報] 縦型炉 ピッチ可変ロボットによる6インチ用SMIFポッドへの対応
製品仕様
装置型式 |
VF-5300 |
本体寸法(mm) | 900(W)×2300(D)×3300(H) |
ウェーハサイズ(mm) | Φ150~200 |
最大処理枚数 | 150 |
キャリアストック数(FOUP) | 20 |
使用温度 | 140~1150℃ |
ウェーハ搬送 | 5枚一括+枚葉 |
AMHS | AGV or OHT |
オプション | SMIF対応 |
ホスト通信 | |
強制冷却システム | |
N2ロードロック | |
ボート回転機構 | |
薄ウェーハ対応 | |
対応プロセス | 酸化・拡散・LPCVD・アニール 他 |