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デモ対応製品
量産用ストッカ式縦型システム VF-5300
酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応したΦ150～200㎜量産装置。20個のカセットを収納出来、連続バッチ処理が可能です。
Point
製品のポイント
- 連続バッチ処理が可能なストッカ式量産装置。
- 最大20カセットを収納可能。
- Φ150～200㎜ウェーハで最大175枚/バッチ処理可能。
- LGOヒータを搭載、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮。
- ウェーハはツインアーム（5枚＋1枚）搬送で高速搬送が可能。
- IGBT用薄ウェーハ（リブ付き含む）にも対応。
製品の特長
酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応したΦ150～200㎜量産装置。最大20個の連続バッチ処理が可能です。変形の大きい薄ウェーハの搬送にも対応しています。
製品仕様
| 装置型式 | VF-5100 |
| 本体寸法（mm） | 900(W)×2300(D)×3300(H) |
| ウェーハサイズ（mm） | Φ150～200 |
| 最大処理枚数 | 150 |
| キャリアストック数（FOUP） | 20 |
| 使用温度 | 140～1150℃ |
| ウェーハ搬送 | 5枚一括＋枚葉 |
| AMHS | AGV or OHT |
| オプション | SMIF対応 |
| ホスト通信 | |
| 強制冷却システム | |
| N2ロードロック | |
| ボート回転機構 | |
| 薄ウェーハ対応 | |
| 対応プロセス | 酸化・拡散・LPCVD・アニール 他 |
