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クリーンオーブン CLOシリーズ
耐熱性HEPAフィルタにより、クリーン環境での熱処理が可能なオーブンシリーズです。
Point
製品のポイント
- 内槽を全周シール加工した高気密性により清浄度と雰囲気を保持。
- 温度安定時の槽内はクラス100（ISO：クラス5）。
- オプション装着で層内にN2導入可能。
- 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等に最適。
製品の特長
耐熱性HEPAフィルタにより、空気清浄度クラス100（ISO：クラス5/温度安定時）を維持しながら処理を行うことが可能なクリーンオーブンです。信頼性・歩留まりの向上を要求される精密部品などの処理に適しています。オプションのN2導入システムで、槽内の残留酸素濃度100ppm以下(参考値)を実現。
製品仕様
| CLOシリーズ共通仕様 | |
|---|---|
| 方式 | 前面吹き出し型強制循環式 |
| 最高温度（注1） | 200℃/350℃(Hタイプ) |
| 常用温度（注1） | RT+60～200℃/RT+60～350℃(Hタイプ) |
| 温度分布精度（注2） | ±4℃(at 200℃)/±8℃(at 350℃)(Hタイプ) |
| 最高温度到達時間（注1） | 60分以内(RT+60～200℃)/120分以内(RT+60～350℃)(Hタイプ) |
| 清浄度 | CLASS 100 (ISO CLASS 5)(温度安定時) |
| フィルタ | 耐熱HEPAフィルタ/耐熱高性能フィルタ(Hタイプ) |
| 到達酸素濃度 | 100ppm以下(N2導入オプション装備時)(参考値) |
| 調節動作 | オートチューニング付PID制御 |
| 熱電対 | K |
| 安全装置 | 過熱防止計、電動機過負荷保護器、冷却水流量低下検知器（Hタイプのみ） |
| 付属品 | 棚板2枚(棚受付) |
| （注1）加熱室内制御点での値を示す。 （注2）有効寸法は槽内寸法の2/3です。 ☆Hタイプはシールパッキン保護用に冷却水が必要です。 ☆熱電対は消耗品です。 |
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| 型式 | CLO-2AH | CLO-9CH | CLO-21C(H) |
|---|---|---|---|
| ヒータ出力 | 1.2kW(at 100V) | 3.0kW(at 200V) | 4.8kW(at 200V) |
| 外形寸法（mm） | 590(W)×460(H)×615(D) | 1040(W)×690(H)×900(D) | 860(W)×1470(H)×1010(D) |
| 槽内寸法（mm） | 250(W)×250(H)×250(D) | 450(W)×450(H)×450(D) | 660(W)×660(H)×500(D) |
| ブレーカー容量 |
AC 100V 20A （ノーヒューズブレーカー） |
AC 200V 20A 3相 50/60Hz （漏電ブレーカー） |
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仕様について
- 製品の改良・改善のために、仕様および外観その他を予告なく変更することがございます。あらかじめご了承ください。
