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高温クリーンオーブン CLHシリーズ
耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、クリーン環境と高温処理を両立したオーブンシリーズです。
Point
製品のポイント
- 耐熱高性能フィルタと当社独自の冷却器により高温ベークが可能。
- 温度安定時の槽内はクラス100（ISO：クラス5）。
- 熱風フローは、前面吹き出しと、サイドフローの2タイプ。
- 高い熱効率と良好な温度均一性を実現。
- 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等に最適。
- 不活性ガスを槽内に導入し、イナートガスオーブンとして使用可能。
製品の特長
耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、空気清浄度クラス100（ISO：クラス5/温度安定時）と高温処理を両立したクリーンオーブンです。熱風フローは、前面吹き出し（後ろから前）タイプ（Ⅴ型）と、サイドフロー（右から左）タイプ（Ⅲ型）の2タイプをそろえており、高い熱効率と良好な温度均一性を実現。ウェーハ、光ディスク、液晶など高温でのクリーン加熱にその性能を発揮します。
製品仕様
| CLHシリーズ共通仕様 | |
|---|---|
| 洗浄度 | CLASS 100 (ISO CLASS 5)(温度安定時) |
| フィルタ | 耐熱高性能フィルタ |
| 到達酸素濃度 | 20ppm以下 |
| 温度制御 | プログラマ |
| 記憶容量 | 合計1024セグメント (最大99パターン) |
| 調節動作 | オートチューニング付PID制御 |
| 熱電対 | K |
| 安全装置 | 漏電ブレーカー、過熱防止計、電動機過負荷保護機、 冷却水・流量低下検知器 |
| 付属品 | 棚板2枚(棚受付) |
| 型式 | CLH-21CD(Ⅲ) | CLH-21CDH(Ⅲ) | CLH-21CD(V) |
|---|---|---|---|
| 方式 | 強制送風循環式(サイドフロー) | 前面吹出し型強制循環式 | |
| 最高温度（注1） | 450℃ | 530℃ | 500℃ |
| 常用温度（注1） | RT＋70～450℃ | RT＋70～530℃ | RT＋70～500℃ |
| 温度分布精度（注2） | ±5℃(at 450℃) | ±8℃(at 530℃) | ±5℃(at 500℃) |
| 最高温度到達時間（注1） | 80分以内(RT+70～450℃) | 90分以内(RT+70～530℃) | 80分以内(RT+70～500℃) |
| 20ppm到達時間 | 45分以内(N2を250L/min導入) | ||
| ヒータ出力 | 33.6kW(at 200V) | 21.0kW(at 200V) | |
| 外形寸法（mm） | 1285(W)×2020(H)×1605(D) | 1180(W)×2110(H)×1670(D) | |
| 槽内寸法（mm） | 670(W)×700(H)×500(D) | 700(W)×700(H)×500(D) (注3) |
|
| ブレーカー容量 | AC 200V 150A 3相 50/60Hz | AC 200V 100A 3相 50/60Hz | |
| 型式 | CLH-35CD(Ⅲ) | CLH-35CDH(Ⅲ) |
|---|---|---|
| 方式 | 強制送風循環式(サイドフロー) | |
| 最高温度（注1） | 450℃ | 530℃ |
| 常用温度（注1） | RT＋70～450℃ | RT＋70～530℃ |
| 温度分布精度（注2） | ±5℃(at 450℃) | ±8℃(at 530℃) |
| 最高温度到達時間（注1） | 70分以内(RT+70～450℃) | 100分以内(RT+70～530℃) |
| フィルタ | 耐熱高性能フィルタ | |
| 20ppm到達時間 | 50分以内(N2を250L/min導入) | |
| ヒータ出力 | 48.3kW(at 200V) | |
| 外形寸法（mm） | 1285(W)×2090(H)×1775(D) | |
| 槽内寸法（mm） | 670(W)×790(H)×670(D) | |
| ブレーカー容量 | AC 200V 175A 3相 50/60Hz | |
| （注1） ヒータの昇温可能温度・加熱室内制御点での値を示す。 （注2） 有効寸法は櫓内寸法の2/3です。 （注3） 櫓内幅は700mmですが、開口部は630mmとなります。 |
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仕様について
- 製品の改良・改善のために、仕様および外観その他を予告なく変更することがございます。あらかじめご了承ください。
