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高温クリーンオーブン CLHシリーズ

耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、クリーン環境と高温処理を両立したオーブンシリーズです。

Point

  • 耐熱高性能フィルタと当社独自の冷却器により高温ベークが可能。
  • 温度安定時の槽内はクラス100(ISO:クラス5)。
  • 熱風フローは、前面吹き出しと、サイドフローの2タイプ。
  • 高い熱効率と良好な温度均一性を実現。
  • 半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージング等に最適。
  • 不活性ガスを槽内に導入し、イナートガスオーブンとして使用可能。

製品の特長

耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、空気清浄度クラス100(ISO:クラス5/温度安定時)と高温処理を両立したクリーンオーブンです。熱風フローは、前面吹き出し(後ろから前)タイプ(Ⅴ型)と、サイドフロー(右から左)タイプ(Ⅲ型)の2タイプをそろえており、高い熱効率と良好な温度均一性を実現。ウェーハ、光ディスク、液晶など高温でのクリーン加熱にその性能を発揮します。

製品仕様

CLHシリーズ共通仕様
洗浄度 CLASS 100 (ISO CLASS 5)(温度安定時)
フィルタ 耐熱高性能フィルタ
到達酸素濃度 20ppm以下
温度制御 プログラマ
記憶容量 合計1024セグメント (最大99パターン)
調節動作 オートチューニング付PID制御
熱電対 K
安全装置 漏電ブレーカー、過熱防止計、電動機過負荷保護機、
冷却水・流量低下検知器
付属品 棚板2枚(棚受付)




型式 CLH-21CD(Ⅲ) CLH-21CDH(Ⅲ) CLH-21CD(V)
方式 強制送風循環式(サイドフロー) 前面吹出し型強制循環式
最高温度(注1) 450℃ 530℃ 500℃
常用温度(注1) RT+70~450℃ RT+70~530℃ RT+70~500℃
温度分布精度(注2) ±5℃(at 450℃) ±8℃(at 530℃) ±5℃(at 500℃)
最高温度到達時間(注1) 80分以内(RT+70~450℃) 90分以内(RT+70~530℃) 80分以内(RT+70~500℃)
20ppm到達時間 45分以内(N2を250L/min導入)
ヒータ出力 33.6kW(at 200V) 21.0kW(at 200V)
外形寸法(mm) 1285(W)×2020(H)×1605(D) 1180(W)×2110(H)×1670(D)
槽内寸法(mm) 670(W)×700(H)×500(D) 700(W)×700(H)×500(D)
(注3)
ブレーカー容量 AC 200V 150A 3相 50/60Hz AC 200V 100A 3相 50/60Hz




型式 CLH-35CD(Ⅲ) CLH-35CDH(Ⅲ)
方式 強制送風循環式(サイドフロー)
最高温度(注1) 450℃ 530℃
常用温度(注1) RT+70~450℃ RT+70~530℃
温度分布精度(注2) ±5℃(at 450℃) ±8℃(at 530℃)
最高温度到達時間(注1) 70分以内(RT+70~450℃) 100分以内(RT+70~530℃)
フィルタ 耐熱高性能フィルタ
20ppm到達時間 50分以内(N2を250L/min導入)
ヒータ出力 48.3kW(at 200V)
外形寸法(mm) 1285(W)×2090(H)×1775(D)
槽内寸法(mm) 670(W)×790(H)×670(D)
ブレーカー容量 AC 200V 175A 3相 50/60Hz
(注1) ヒータの昇温可能温度・加熱室内制御点での値を示す。
(注2) 有効寸法は櫓内寸法の2/3です。
(注3) 櫓内幅は700mmですが、開口部は630mmとなります。

仕様について

  • 製品の改良・改善のために、仕様および外観その他を予告なく変更することがございます。あらかじめご了承ください。