電子部品・セラミックス製造装置
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高温イナートガスオーブン INHシリーズ
無酸化雰囲気で最高600℃での熱処理が可能なオーブン。セラミックの脱脂（脱バイ）用途で多数の納入実績があるモデルです。
Point
製品のポイント
- 無酸化雰囲気にて、最高600℃までの熱処理が可能。
- 残留素濃度20ppm以下を達成。
- 高い気密性。
- 槽内雰囲気に影響を与えることなく、降温時間を短縮。
- セラミックスの脱脂（脱バイ）用途で多数の採用実績。
製品の特長
無酸化雰囲気にて、最高600℃までの熱処理が可能な生産向けイナートガスオーブンです。セラミック部品の脱脂（脱バイ）用途※で多くの納入実績のあるシリーズです。気密性に優れた構造で、脱ガス成分を外部に漏らしません。脱脂（脱バイ）用途の場合は、ヒータ式排ガス処理装置（GMシリーズ）とセットでのご使用をお勧め致します。爆発燃焼対策を追加した安全増し仕様も製作可能です。また、冷却ブロアを使用する槽外冷却機構により、槽内雰囲気に影響を与えることなく冷却時間の短縮を図っています。
※ 脱脂（脱バイ）処理については別途、安全装置が必要ですのでこちらまでお問合せください。
［関連情報］：MLCC向け熱処理装置
脱脂の見える化
製品仕様
| INHシリーズ共通仕様 | |
| 方式 | 強制送風循環式(サイドフロー) |
| 最高温度（注1） | 600℃ |
| 常用温度（注1） | RT+60～600℃ |
| 温度分布精度（注2） | ±8℃(at 600℃)、±5℃(at 350℃) |
| 残留酸素濃度 | 20ppm以下 |
| 冷却機構 | 槽外強制冷却機構 |
| 安全装置 | 漏電ブレーカー、過熱防止計、電動機過負荷保護器 |
| 付属品 |
棚板2枚（棚受付） |
| 型式 | INH-9N1 | INH-21CD | INH-51N2 | INH-100N2 |
|
温度制御 |
プログラマ |
プログラムコントローラ内蔵タッチパネル |
||
|
記憶容量 |
合計1024セグメント（最大99パターン） |
30ステップ/プログラム |
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最高温度到達時間 （RT+60～600℃） （注1） |
120分以内 |
90分以内 |
90分以内 |
90分以内 |
| 20ppm到達時間 |
50分以内 (N2を50L/min導入) |
60分以内 (N2を90L/min導入) |
90分以内 (N2を150L/min導入) |
90分以内 (N2を250L/min導入) |
| ヒータ出力 |
7.5kW(at 200V) |
12.0kW(at 200V) |
25.3kW(at 200V) |
44.3kW(at 200V) |
| 外形寸法（mm） |
1105(W)×1650(H) ×840(D) |
1255(W)×1800(H) ×1120(D) |
1606(W)×2008(H) ×1300(D) |
1806(W)×2208(H) ×1500(D) |
| 槽内寸法（mm） |
450(W)×450(H) ×450(D) |
600(W)×600(H) ×600(D) |
800(W)×800(H) ×800(D) |
1000(W)×1000(H) ×1000(D) |
| ブレーカー容量 |
AC200V 30A 3相 50/60Hz |
AC200V 50A 3相 50/60Hz |
AC200V 100A 3相 50/60Hz |
AC200V 175A 3相 50/60Hz |
(注1) 加熱室内制御点での値を示す。
(注2) 有効寸法は槽内寸法の2/3です。
(注3) 脱脂（脱バイ）処理については別途、安全装置が必要ですのでこちらまでお問合せください。
☆シールパッキン保護用に冷却水が必要です。
