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ガラス

各種ガラス素材向けの熱処理装置をご紹介。

フラットパネルディスプレイ(FPD)用ガラス基板や太陽電池(CIGS)、露光に使用されるマスクブランクス、その他様々な機能性ガラスの各種熱処理装置を提供しております。

ディスプレイ

液晶や有機EL等をはじめとしたディスプレイ向けクリーン加熱装置をご紹介。

太陽電池

化合物系CIS(CIGS)太陽電池向けSe化炉などを提案しています。研究開発から量産まで豊富な出荷実績を誇ります。

マスクブランクス

最先端のステッパーに採用されるマスクブランクス用アニール装置。抜群の温度制御性を備え、超クリーン環境下で使用可能な縦型炉や、コストを抑えたクリーンオーブンを紹介しています。