フレキシブル
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枚葉式クリーンオーブン CCBSシリーズ
液晶(LCD)、有機EL(OLED)用ガラス基板のクリーン加熱装置。クリーン性能や生産性に優れるモデルです。
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枚葉式IRオーブン CCBS-IRシリーズ
遠赤外線(IR)加熱を採用した枚葉式クリーンオーブンです。加熱効率に優れています。
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クリーンバッチシステム CBSシリーズ
最高500℃での熱処理が可能なバッチ式クリーンオーブン。バッチ式でありながら、生産性に優れたモデルです。
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高温イナートガスオーブン INHシリーズ
無酸化雰囲気で最高600℃での熱処理が可能なオーブン。セラミックの脱脂(脱バイ)用途で多数の納入実績があるモデルです。
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イナートガスオーブン INL
窒素導入により、無酸化雰囲気での熱処理が可能なオーブンです。 最高350℃での処理が可能。
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小型イナートガスオーブン KLO-30NH
低酸素雰囲気で、最高600℃までの熱処理が可能な小型のイナートガスオーブンです。冷却水が不要なモデルです。
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高温クリーンオーブン CLHシリーズ
耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、クリーン環境と高温処理を両立したオーブンシリーズです。
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クリーンオーブン CLOシリーズ
耐熱性HEPAフィルタにより、クリーン環境での熱処理が可能なオーブンシリーズです。