各種ガラス素材向けの熱処理装置をご紹介。
半導体先端パッケージのインターポーザ向けガラス基板、フラットパネルディスプレイ（FPD）用ガラス基板や太陽電池（CIGS）、露光に使用されるマスクブランクス、その他様々な機能性ガラスの各種熱処理装置を提供しております。
半導体先端パッケージ
半導体先端パッケージのインターポーザ用ガラス基板の熱処理が可能な装置です。300×300㎜、510×515㎜、600×600㎜の各種基板の搬送に対応しています。
ディスプレイ
液晶や有機EL等をはじめとしたディスプレイ向けクリーン加熱装置をご紹介。
太陽電池
化合物系CIS（CIGS）太陽電池向けSe化炉などを提案しています。研究開発から量産まで豊富な出荷実績を誇ります。
マスクブランクス
最先端のステッパーに採用されるマスクブランクス用アニール装置。抜群の温度制御性を備え、超クリーン環境下で使用可能な縦型炉や、コストを抑えたクリーンオーブンを紹介しています。
