ディスプレイ・フィルム向け装置
ディスプレイ
ガラス
クリーンバッチシステム CBSシリーズ
最高500℃での熱処理が可能なバッチ式クリーンオーブン。バッチ式でありながら、生産性に優れたモデルです。
Point
製品のポイント
- 最高使用温度 500℃。
- 雰囲気処理、無酸化処理が可能。
- サイクルタイム短縮による高い生産性。
製品の特長
超高温HEPAフィルタの採用で、最高500℃での熱処理が可能なバッチ式クリーンオーブンです。
独自のシール機構により、不活性ガスを導入した無酸化処理が可能。
また、強制冷却機構や基板移載の高速化により、サイクルタイムを短縮。バッチ式でありながら、優れた生産性を実現しました。
製品仕様
| 基板サイズ（mm） | 300(W)×400(L)～730(W)×920(L) |
| 使用温度範囲 | 80～500℃ |
| 温度精度 | ±5℃ |
| クリーン度 | Class 10 (0.3μm) |
| 用途 | LTPS、TFTの各種アニール |
