ディスプレイ・フィルム向け装置
ディスプレイ
ガラス
枚葉式IRオーブン CCBS-IRシリーズ
遠赤外線（IR）加熱を採用した枚葉式クリーンオーブンです。加熱効率に優れています。
Point
製品のポイント
- 優れたクリーン性能。
- 加熱効率に優れた遠赤外線（IR）加熱。
- 温度均一性に優れたIRパネルヒータを採用。
- 低酸素濃度での加熱処理が可能。
製品の特長
遠赤外線（IR）加熱タイプの枚葉式クリーンオーブンです。液晶（LCD）、有機EL（OLED）の各種焼成処理にご使用頂けます。
特に、遠赤外線加熱は加熱効率に優れており、配向膜やパッシベーション膜といった厚膜の処理に最適です。
また自己発塵のない構造と精密な雰囲気制御により、クリーン性能に優れており、シビアなクリーン環境を求められるアレイ基板の処理にも対応できます。
炉内に窒素ガスを導入することで、低酸素濃度での加熱処理も可能です。
製品仕様
| 基板サイズ（mm） | 300(W)×400(L)～3000(W)×3200(L) |
| 使用温度範囲 | RT～250℃ |
| 温度精度 | ±3℃ |
| クリーン度 | Class 10 (0.3μm) |
| 用途 | IGZO製造、LTPS製造、配向膜・アレイ基板の焼成、アレイ工程各種アニール、パッシベーション膜の焼成、シール本硬化/仮硬化 |
