ディスプレイ・フィルム向け装置
ディスプレイ
ガラス
真空乾燥装置 CCBS-V シリーズ
真空中での熱処理に対応。真空ロードロックや基板搬送ロボットとの組み合わせも可能です。
Point
製品のポイント
- 真空中での熱処理が可能。
- 第10世代までの大型基板に対応。
- 真空ロードロックや搬送ロボット組み込みに対応。
製品の特長
真空チャンバー内部に高輻射率の薄型パネルヒータを装着することにより、真空中での熱処理に対応。特に有機EL（OLED）などの真空中での処理が必要なデバイスに最適です。
前後工程装置との真空ロードロック接続や基板搬送ロボットを組み合わせたシステムなど、様々な処理形態に対応することが出来ます。
製品仕様
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基板サイズ（mm） |
300(W)×400(L)～3000(W)×3200(L) |
| 使用温度範囲 | RT～250℃ |
| 温度精度 | ±3℃ |
| クリーン度 | Class 10 (0.3μm) |
| 真空到達度 | 10-3Pa |
| 用途 | 脱水ベーク、溶剤乾燥、アニール |
