ディスプレイ・フィルム向け装置
ディスプレイ
ガラス
枚葉式クリーンオーブン CCBSシリーズ
液晶（LCD）、有機EL（OLED）用ガラス基板のクリーン加熱装置。クリーン性能や生産性に優れるモデルです。
Point
製品のポイント
- 優れた生産性、スペース効率、エネルギー効率。
- ハイクリーン & 基板ダメージの低減。
- 様々なレイアウト及び基板運用に柔軟に対応。
- 昇華物が発生する処理にも対応可能。
- 省エネルギー： 槽内負圧制御と高断熱構造により放熱量低減。
- 廃熱回収装置： 排気熱の利用により、エネルギーを有効利用。
製品の特長
第10世代までの液晶（LCD）、有機EL（OLED）用ガラス基板のクリーン加熱処理において、長年安定稼働を続けるベストセラーモデルです。狭ピッチ化した基板ラックは収納効率が高く、生産性やスペース効率、エネルギー効率に優れます。また、槽内での基板の移動がなく、移動に伴う発塵と基板ダメージがありません。オーブンや冷却ラックなどのユニットは自由に配置でき、様々なレイアウトが可能。基板運用においても、ベイク後の抜き取りやベイクスルーにも柔軟に対応します。昇華物が発生する処理にも対応しています。
製品仕様
| 基板サイズ（mm） | 300(W)×400(L)～3000(W)×3200(L) |
| 使用温度範囲 | 80～250℃ |
| 温度精度 | ±3℃ |
| クリーン度 | Class 10 (0.3μm) |
| 用途 | カラーフィルターレジストのポストベーク、アニール、シール本硬化/仮硬化、 配向膜の焼成 |
