スマートフォンや自動車に使われるMLCCは、モバイル機器では小型化・高機能化が求められ、自動車（CASE、BEV）では大容量・高信頼性が必要とされています。当社は業界の先頭に立って、過熱水蒸気に対応した装置（AllFit®シリーズ）を脱バイ処理用にご提案し、処理時間の短縮や低温処理化を実現しています。さらに、内部電極の被覆率を高めることができる独自の高速昇温炉も開発しました。当社はこれからも最先端の高機能MLCCの製造に貢献してまいります。
MLCCとは
Multi-Layered Ceramic Capacitorの略。セラミック誘電体と金属電極を多層化（積層化）することで、小型・大容量化を実現したチップタイプのコンデンサです。小型で耐熱性に優れているため、高周波回路に適しており、コンピュータ、通信機器、映像機器、自動車などのデジタル機器の多くに採用されています。
近年、自動車のエレクトロニクス化、スマートフォンの高機能化、IoT（Internet of Things）の普及が進んでいます。それに伴い、MLCCの需要も急増しており、エレクトロニクス製品としての高い汎用性が証明されています。
製品ラインアップ
当社のMLCC製造用熱処理装置は、一般的にはセラミック誘電体の脱バインダや焼成、再酸化、電極焼付などに使用されています。
MLCCはメーカの多様な経験に基づいて製造されます。そのため製造上の「標準」というものがなく、お客様のご要望も様々です。当社は、シンプルな不活性ガス炉やメッシュベルト式連続炉だけでなく、既存の装置をベースにした、世界に一つだけのお客様専用設備を設計・製造することで、それに応えてまいりました。熱処理設備の総合メーカとして、長年の経験と豊富な納入実績で培った高度な雰囲気制御・温度制御技術により、高品質なMLCCの製造を支えています。
脱バインダ
過熱水蒸気対応熱処理装置
過熱水蒸気雰囲気を採用した熱処理装置をシリーズ化しました。過熱水蒸気による加水分解により、脱バイ※時間の短縮や処理温度の低温化が期待できます。
※排ガスに含まれるバインダの処理については、ページ下部で紹介する排ガス処理装置をご参照下さい
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過熱水蒸気雰囲気対応
イナートガスオーブン -
過熱水蒸気雰囲気対応
小型真空パージ式ボックス炉 -
過熱水蒸気雰囲気対応
小型コンベア炉 -
過熱水蒸気雰囲気対応
メッシュベルト式コンベア炉
高温イナートガスオーブン
INHシリーズ
最高使用温度600℃の高温で、窒素雰囲気による低酸素濃度下（20ppm以下）での熱処理を可能とする熱風循環式オーブン。
脱バイ※用途では圧倒的な納入実績を誇ります。
※排ガスに含まれるバインダの処理については、以下で紹介する排ガス処理装置をご参照下さい
ヒータ式排ガス処理装置
GMシリーズ
脱バイ工程などで発生する有機物を含む排ガスにフレッシュエアを添加し、最高850℃の高温で燃焼分解します。触媒では取り切れない悪臭の除去、作業環境の改善に有効です。
熱処理装置との組み合せ例
焼成
高速昇温炉
100℃/秒 以上での急昇温処理と振動の少ない独自の搬送機構を採用。セラミック誘電体と内部電極※の薄層化が進むハイエンドMLCCの内部電極被覆率を高めることができます。
実験・開発向けのバッチタイプの他、量産用連続式の構成も可能。
※セラミックス誘電体と内部電極（下図）
再酸化
セラミックコンベア炉
耐熱性・耐摩耗性に優れ、1000℃以上でも使用できるセラミックチェーンを搬送コンベアとして採用。不活性ガスやWET雰囲気でも処理が可能です。
コンパクトで、抜群の省エネ性能を誇ります。
メッシュベルト式コンベア炉
メッシュベルトとマッフル構造の採用により、雰囲気の安定性と再現性に優れた炉で豊富な納入実績を誇ります。
電極焼付
メッシュベルト式コンベア炉
メッシュベルトとマッフル構造の採用により、雰囲気の安定性と再現性に優れた炉で豊富な納入実績を誇ります。
特殊事例紹介
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- タクト搬送式イナートガスオーブンMC/CCシリーズ
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- 連続処理による抜群の生産性
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