半導体製造装置
ディスプレイ・フィルム向け装置
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樹脂・フィルム
大口径縦型システム VFS-4000
液晶やOLED（有機EL）、CIGS太陽電池、ポリイミドフィルム製造に対応した大口径縦型炉です。
Point
製品のポイント
- 730×920㎜基板の第4世代対応（その他サイズも別途相談）縦型炉。
- 常圧・減圧処理に対応。
- 当社独自の大型LGOヒータを搭載、優れた温度特性を発揮。
- ホットウォール方式を採用し、抜群なクリーン環境を実現。
- CIGS太陽電池のSe化炉に対応、安全を最優先した構造を採用。
- Fan-out PLPに対応。
製品の特長
液晶やOLED（有機EL）、CIGS太陽電池、ポリイミドフィルム製造に対応した大口径縦型炉です。熱風循環オーブンでは実現できない抜群なクリーン環境下での熱処理が可能。常圧、真空共に対応し、安全性を重視した装置構成となっています。
製品仕様
| 装置型式 | VFS-4000 |
| 本体寸法（mm） | 2000(W)×2000(D)×4350(H)（炉体のみ） |
| 基板サイズ（mm） | 730×920※ |
| 使用温度範囲 | 200～600℃ |
| 対応プロセス | 脱水素アニール、キュア、Se化（CIGS）他 |
| 最大処理枚数 | 40 |
| オプション | 基板搬送システム |
| 強制冷却システム | |
| ホスト通信 | |
| Fan-out対応 |
※本サイズ以外にも対応します。
