ポリイミドフィルム
-
大口径縦型システム VFS-4000
液晶やOLED(有機EL)、CIGS太陽電池、ポリイミドフィルム製造に対応した大口径縦型炉です。
-
樹脂ベルト式乾燥炉 RBシリーズ
搬送機構に樹脂ベルトを採用した連続炉です。基材にテンションを与えない処理が可能。各種保護シートやフィルムの加熱処理に最適です。
-
小型イナートガスオーブン KLO-30NH
低酸素雰囲気で、最高600℃までの熱処理が可能な小型のイナートガスオーブンです。冷却水が不要なモデルです。
-
高温クリーンオーブン CLHシリーズ
耐熱高性能フィルタと冷却器の組み合わせにより、クリーン環境と高温処理を両立したオーブンシリーズです。
-
クリーンオーブン CLOシリーズ
耐熱性HEPAフィルタにより、クリーン環境での熱処理が可能なオーブンシリーズです。