半導体製造装置
半導体
太陽電池
結晶系太陽電池用横型拡散システム Model 206A
結晶系太陽電池のセル製造用横型拡散炉。PN接合用の不純物の拡散工程などに使用されています。
Point
製品のポイント
- 156㎜□ウェーハに対応し、1バッチ400枚まで対応可能な横型炉。
- 生産量に合わせ、最大4段炉まで対応可能。
- Pocl3、BBr3、WET酸化他各種プロセスに対応。
- 自動搬送はボートエレベータ、カンチレバ、ボートローダ等に対応可能。
製品の特長
結晶系太陽電池のセル製造用横型拡散炉。PN接合用の不純物の拡散工程などに使用されています。豊富な納入実績で、お客様の生産ラインに合わせ各種装置の提案をいたします。
［関連技術情報］： エリアセンサ設置による危険回避、安全性向上
製品仕様
| 装置型式 | 206 |
| 本体寸法（mm） | 850(W)×6700(D)×2640(H) |
| ウェーハサイズ（mm） | ～156□ |
| 最大処理枚数 | 400 |
| 段数 | 最大4段 |
| 対応プロセス | Pocl3、BBr3、WET酸化、拡散 他 |
| 搬送装置 | 手動 |
| ボートエレベータ | |
| ボートローダ | |
| カンチレバ |
