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デモ対応製品
ミニバッチタイプ縦型システム VF-3000
酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応したΦ75~200㎜準量産装置。50~75枚のミニバッチ処理に最適。
Point
製品のポイント
- ミニバッチ、50枚~75枚処理でR&Dから量産ラインに対応した縦型炉。
- Φ75~200㎜ウェーハに対応。
- 当社独自のLGOヒータを搭載し、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮。
- 天井高が低い工場への導入が可能。
- IGBT用薄ウェーハ(リブ付き含む)にも対応。
- LED用サファイヤウェーハのアニールにも対応。
製品の特長
酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応したΦ75~200㎜準量産装置。50~75枚のミニバッチ処理に適しており、変形の大きい薄ウェーハの搬送にも対応しています。
製品仕様
装置型式 | VF-3000 |
本体寸法(mm) | 1200(W)×1450(D)×2610(H) |
ウェーハサイズ(mm) | ~Φ200 |
一処理枚数 | ~Φ150:75 Φ200:50 |
キャリアストック数(FOUP) | 4 |
使用温度 | 200~1150℃ |
ウェーハ搬送 | 枚葉 |
AMHS | ー |
オプション | 強制冷却システム |
N2ロードロック | |
各種サイズのウェーハ兼用可能 | |
ボート回転機構 | |
対応プロセス | 酸化・拡散・LPCVD・アニール 他 |