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SiCパワー半導体用コンタクトアニール装置の2チャンバ化と搬送見直しによる生産性向上
2025.02.06
SiCパワー半導体用コンタクトアニール装置の生産性向上
2024.07.11
縦型炉 ピッチ可変ロボットによる6インチ用SMIFポッドへの対応
2023.08.28
SiC用縦型炉 8インチウェーハの100枚処理
2023.01.30
Fan-Outウェーハの搬送安定性の向上
2020.11.01
