酸化・拡散・LP-CVD他各種プロセスに対応した～Φ200㎜量産装置。コストパフォーマンスに優れたベストセラー装置です。

イオン注入後の活性化アニールなどに使用されるランプアニールの量産装置です。

イオン注入後の活性化アニールなどに使用されるランプアニールの実験装置です。

卓上式のコンパクトなR＆D用ランプアニール装置で、太陽電池の電極焼成やイオン注入後の活性化アニールなどに最適です。

Φ300㎜で全自動対応し、後工程におけるPIQ処理で豊富な実績がある量産用クリーンオーブンです。

過熱水蒸気雰囲気に対応したイナートガスオーブンです。過熱水蒸気発生装置をオーブン本体と一体化したコンパクト設計。

無酸化雰囲気で最高600℃での熱処理が可能なオーブン。セラミックの脱脂（脱バイ）用途で多数の納入実績があるモデルです。

過熱水蒸気雰囲気に対応した小型連続炉。結露対策されており、出入口での結露もありません。

各種雰囲気での高温処理が可能な電気炉シリーズです。

搬送機構に金属メッシュベルトを採用した連続炉。金属マッフルの採用により、均熱性、気密性、雰囲気の安定性に優れています。

雰囲気分離技術により、加熱室内のきめ細やかな雰囲気調整が可能な連続炉です。処理内容・ご要望に応じて設計致します。

実験開発（R&D）用コンベア炉です。様々な熱処理雰囲気に対応可能です。また、多品種少量生産にも最適です。