QEC（Quenching oil temp. Eco Control）による焼入油槽の省エネ化
2025.08.25
SiCパワー半導体用コンタクトアニール装置の2チャンバ化と搬送見直しによる生産性向上
2025.02.06
過熱水蒸気の利用例と試し焼きのご案内
2024.12.02
SiCパワー半導体用コンタクトアニール装置の生産性向上
2024.07.11
自動ターンダウン化による吸熱型炉気発生装置のCO₂削減
2024.06.25
当社装置におけるアスベストの使用について
2024.02.01
縦型炉 ピッチ可変ロボットによる6インチ用SMIFポッドへの対応
2023.08.28
排ガスの濃度測定・分析による脱脂の見える化
2023.04.24
SiC用縦型炉 8インチウェーハの100枚処理
2023.01.30
エリアセンサ設置による危険回避、安全性向上
2022.06.27
断熱材の端材リサイクルによる廃棄物の削減
2022.03.28
Fan-Outウェーハの搬送安定性の向上
2020.11.01
カスタマーサービス／インチアップで生産性を向上
2020.09.01
冷却時間短縮で生産性向上を実現するINLオーブン
2020.07.31
処理品質の向上が図れる機能最適化型の大口径縦型炉
2020.07.17
アイドリングストップで省エネ化
2020.03.23
有効容積倍増で応用範囲拡げた真空パージ式ボックス炉
2020.03.05
排ガス処理装置を備えたボックス炉
2020.01.27
スライド式扉を備えたボックス炉
2020.01.27
雰囲気処理用加熱容器を備えたボックス炉
2020.01.27
コストパフォーマンスに優れた小型真空ボックス炉
2020.01.27
特殊ガス対応チューブ炉
2020.01.27
真空パージ式チューブ炉
2020.01.27
移動加熱室式チューブ炉
2020.01.27
粉体処理用チューブ炉
2020.01.27