半導体製造装置
SiCパワー半導体用コンタクトアニール装置の2チャンバ化と搬送見直しによる生産性向上
2025.02.06
電子部品・セラミックス製造装置
過熱水蒸気の利用例と試し焼きのご案内
2024.12.02
半導体製造装置
SiCパワー半導体用コンタクトアニール装置の生産性向上
2024.07.11
金属・工業加熱装置
自動ターンダウン化による吸熱型炉気発生装置のCO₂削減
2024.06.25
その他
当社装置におけるアスベストの使用について
2024.02.01
半導体製造装置
縦型炉 ピッチ可変ロボットによる6インチ用SMIFポッドへの対応
2023.08.28
電子部品・セラミックス製造装置
排ガスの濃度測定・分析による脱脂の見える化
2023.04.24
半導体製造装置
SiC用縦型炉 8インチウェーハの100枚処理
2023.01.30
アフターサービス
エリアセンサ設置による危険回避、安全性向上
2022.06.27
ヒートエレメント分野
断熱材の端材リサイクルによる廃棄物の削減
2022.03.28
半導体製造装置
Fan-Outウェーハの搬送安定性の向上
2020.11.01
電子部品・セラミックス製造装置
冷却時間短縮で生産性向上を実現するINLオーブン
2020.07.31
アフターサービス
アイドリングストップで省エネ化
2020.03.23
研究・開発向け装置
排ガス処理装置を備えたボックス炉
2020.01.27
研究・開発向け装置
スライド式扉を備えたボックス炉
2020.01.27
研究・開発向け装置
雰囲気処理用加熱容器を備えたボックス炉
2020.01.27
研究・開発向け装置
コストパフォーマンスに優れた小型真空ボックス炉
2020.01.27
研究・開発向け装置
特殊ガス対応チューブ炉
2020.01.27
研究・開発向け装置
真空パージ式チューブ炉
2020.01.27
研究・開発向け装置
移動加熱室式チューブ炉
2020.01.27
研究・開発向け装置
粉体処理用チューブ炉
2020.01.27